Chemistry 加速器による半導体露光技術｜EUV-FELが実現する次世代リソグラフィの革新
加速器技術を活用した次世代半導体露光技術EUV-FELの原理と優位性を解説。従来EUVと比較して消費電力6分の1、出力10倍以上を実現。KEKが2030年の実用化を目指す革新技術の微細化への影響、コスト削減効果、技術課題を専門的に分析。日本の半導体産業復活の鍵となる最先端技術の全貌。
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